Die Zukunft der Halbleiterfertigung: Rapidus setzt auf 2-nm-Chips und revolutionäre Produktionsmethoden

Der japanische Auftragsfertiger Rapidus, gegründet im August, verfolgt ambitionierte Ziele für die Zukunft der Halbleiterfertigung mit Unterstützung von Unternehmen wie IBM. Finanziert und gefördert vom japanischen Staat plant Rapidus ab 2027 die Produktion von Chips in einer eigens entwickelten 2-nm-Fertigung. Die Bauarbeiten für den modernen Produktionsstandort IIM-2 Fab wurden im September 2023 begonnen, die ersten Belichtungsmaschinen sollen im Dezember 2024 installiert werden, und bereits im Frühjahr werden die ersten Wafer bearbeitet. Neben technologischem Vorsprung durch Fertigung will Rapidus auch in der Turnaround Time (TAT) – der benötigten Zeit für die Fertigstellung eines Wafers – gegenüber der Konkurrenz punkten. Das Unternehmen verfolgt dabei ein Konzept namens „Rapid and Unified Manufacturing Service“ (RUMS). Statt konventioneller Batch-Verarbeitung für einzelne Schritte setzt Rapidus auf ein individuelles Handling jedes Wafers durch den gesamten Prozess. Während Belichtungs- und Ätzprozesse bereits einzeln pro Wafer durchgeführt werden, werden chemische Prozesse wie LP-CVD und Oxidation in Batches bearbeitet. Normalerweise dauert die Fertigung eines Wafers laut Rapidus 120 Tage. Für Kunden mit schnelleren Anforderungen bietet das Unternehmen ein „Hot Lot“ mit Priorität an, das innerhalb von 15 Tagen fertiggestellt wird. Durch dieses Single Wafer Processing strebt Rapidus eine Standard-TAT von nur 50 Tagen an, vergleichbar mit heutigen Hot Lots. Die effiziente Waferbewegung im gesamten Prozess ermöglicht ein komplexes System mit speziellen Transportwagen (FOUPs) aus Halbleiterwerken. Ob Rapidus seine ambitionierten Ziele realisieren kann, wird sich spätestens 2027 zeigen, wenn die ersten 2-nm-Chips verfügbar sein sollen. Aktuell steht das Unternehmen jedoch unter dem Vorwurf, Geschäftsgeheimnisse von TSMC gestohlen zu haben, was dessen Zukunft in Frage stellt.

Schlagwörter: Rapidus + IBM + TAT

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