Intel hat k\u00fcrzlich bekannt gegeben, dass die Bauarbeiten an ihrer ersten serienreifen Belichtungsmaschine mit extrem ultravioletten Wellenl\u00e4ngen und hoher numerischer Apertur (High NA EUV) abgeschlossen sind. Die Maschine, die von ASML entwickelt wurde, befindet sich derzeit in der Kalibrierungsphase und wird voraussichtlich im n\u00e4chsten Jahr in Betrieb genommen. Mit dieser Maschine sollen Chips hergestellt werden, die noch kleinere Strukturen aufweisen, n\u00e4mlich unter 2 Nanometern oder 20 Angstr\u00f6m. Dadurch wird nicht nur der Stromverbrauch reduziert, sondern es erm\u00f6glicht auch eine h\u00f6here Anzahl von Transistoren auf einer einzigen Fl\u00e4che zu platzieren. Zus\u00e4tzlich kann die neue Anlage mit einem h\u00f6heren Kontrast belichten, was zu einer Verringerung der Belichtungszeit f\u00fchrt und somit die Produktion beschleunigt.<\/p>\n
F\u00fcr die Belichtung wird eine Wellenl\u00e4nge von 13,5 Nanometern verwendet, die in der Natur auf der Erde nicht vorkommt. Um das extrem ultraviolette Licht zu erzeugen, wird Zinn mit Hilfe eines Lasers auf eine unglaubliche Temperatur von 220.000 Grad Celsius erhitzt. Laut Intel entspricht dies dem 40-fachen der durchschnittlichen Oberfl\u00e4chentemperatur der Sonne. Es wird dringend davon abgeraten, dies zu Hause nachzuahmen. Das erzeugte Licht durchl\u00e4uft eine Maske, auf der das gew\u00fcnschte Schaltkreismuster dargestellt ist, und wird dann mit sehr pr\u00e4zisen Spiegeln von Zeiss auf den Silizium-Wafer fokussiert. Die Brechwinkel dieser Spiegel verringern die Aufl\u00f6sung von 13,5 nm auf 8 nm.<\/p>\n
Bisher beherrscht ASML als einziges Unternehmen diese Technologie. Die Belichtungsmaschine tr\u00e4gt den Namen Twinscan EXE:5000 und wurde mit einem Kostenaufwand von 350 Millionen Euro hergestellt. Die Anlage wurde in 43 Containern aus den Niederlanden geliefert und wiegt \u00fcber 150 Tonnen. Intel ist der erste Kunde, der die EXE:5000 erworben hat und hat bereits das Nachfolgemodell EXE:5200B bestellt. Bei diesem Kauf haben interessierte Leser keine andere Wahl als Intel den Vorrang zu geben. Durch die erste Auslieferung hat Intel einen zeitlichen Vorteil gegen\u00fcber anderen Unternehmen wie TSMC und Samsung, die ebenfalls Chips herstellen.<\/p>\n
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