Intel schafft Durchbruch: Serienreife Belichtungsmaschine ermöglicht kleinere und effizientere Chips

Intel hat kürzlich bekannt gegeben, dass die Bauarbeiten an ihrer ersten serienreifen Belichtungsmaschine mit extrem ultravioletten Wellenlängen und hoher numerischer Apertur (High NA EUV) abgeschlossen sind. Die Maschine, die von ASML entwickelt wurde, befindet sich derzeit in der Kalibrierungsphase und wird voraussichtlich im nächsten Jahr in Betrieb genommen. Mit dieser Maschine sollen Chips hergestellt werden, die noch kleinere Strukturen aufweisen, nämlich unter 2 Nanometern oder 20 Angström. Dadurch wird nicht nur der Stromverbrauch reduziert, sondern es ermöglicht auch eine höhere Anzahl von Transistoren auf einer einzigen Fläche zu platzieren. Zusätzlich kann die neue Anlage mit einem höheren Kontrast belichten, was zu einer Verringerung der Belichtungszeit führt und somit die Produktion beschleunigt.

Für die Belichtung wird eine Wellenlänge von 13,5 Nanometern verwendet, die in der Natur auf der Erde nicht vorkommt. Um das extrem ultraviolette Licht zu erzeugen, wird Zinn mit Hilfe eines Lasers auf eine unglaubliche Temperatur von 220.000 Grad Celsius erhitzt. Laut Intel entspricht dies dem 40-fachen der durchschnittlichen Oberflächentemperatur der Sonne. Es wird dringend davon abgeraten, dies zu Hause nachzuahmen. Das erzeugte Licht durchläuft eine Maske, auf der das gewünschte Schaltkreismuster dargestellt ist, und wird dann mit sehr präzisen Spiegeln von Zeiss auf den Silizium-Wafer fokussiert. Die Brechwinkel dieser Spiegel verringern die Auflösung von 13,5 nm auf 8 nm.

Bisher beherrscht ASML als einziges Unternehmen diese Technologie. Die Belichtungsmaschine trägt den Namen Twinscan EXE:5000 und wurde mit einem Kostenaufwand von 350 Millionen Euro hergestellt. Die Anlage wurde in 43 Containern aus den Niederlanden geliefert und wiegt über 150 Tonnen. Intel ist der erste Kunde, der die EXE:5000 erworben hat und hat bereits das Nachfolgemodell EXE:5200B bestellt. Bei diesem Kauf haben interessierte Leser keine andere Wahl als Intel den Vorrang zu geben. Durch die erste Auslieferung hat Intel einen zeitlichen Vorteil gegenüber anderen Unternehmen wie TSMC und Samsung, die ebenfalls Chips herstellen.

Schlagwörter: Intel + ASML + Twinscan EXE

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